De Chinese halfgeleiderindustrie heeft een belangrijke mijlpaal bereikt met de officiële release en implementatie van 's lands allereerste groepsstandaard voor ozongeneratoren van halfgeleiderkwaliteit. De "Technische vereisten voor ozongeneratoren van halfgeleiderkwaliteit" (T/CIET 1946-2025), uitgegeven op 9 december 2025, werden geleid door Qingdao Guolin Semiconductor Technology Co., Ltd. in samenwerking met 17 toonaangevende ondernemingen in de toeleveringsketen van halfgeleiders.
Deze baanbrekende norm vult een kritieke leemte op in de binnenlandse technische specificaties voor ozonapparatuur die wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders en beeldschermen. Ozongeneratoren spelen een onmisbare rol in belangrijke halfgeleiderprocessen, waaronder de afzetting van dunne films, het reinigen van wafers en het verwijderen van fotoresist, waarbij hun technische prestaties en betrouwbaarheid rechtstreeks van invloed zijn op de opbrengsten van de chipfabricage.
Ozonmachinetechnologie is essentieel geworden in moderne halfgeleiderfabrieken, waar eisen aan de oppervlaktereinheid een nauwkeurigheid op atomair niveau hebben bereikt. Recente laboratoriumtests tonen aan dat geavanceerde UV-ozonreinigingssystemen organische verontreinigingen op siliciumwafels kunnen verminderen van 50 nm tot slechts 0,5 nm, waardoor een honderdvoudige verbetering van de reinigingsefficiëntie wordt bereikt in vergelijking met traditionele methoden. Dit nauwkeurigheidsniveau is van cruciaal belang nu de industrie zich ontwikkelt in de richting van 5nm- en 3nm-procesknooppunten.
Industriële ozongeneratoren die zijn ontworpen voor halfgeleidertoepassingen maken gebruik van corona-ontladings- of ultraviolette methoden om nauwkeurige ozonconcentraties te genereren die zijn afgestemd op specifieke productievereisten. In tegenstelling tot conventionele natte reinigingsprocessen die afhankelijk zijn van zwavelzuur en waterstofperoxide – die chemische resten kunnen achterlaten en aanzienlijk afvalwater kunnen genereren – biedt reiniging op basis van ozon een droog, residuvrij alternatief dat na gebruik op natuurlijke wijze wordt afgebroken tot zuurstof.
De nieuw vastgestelde standaard is ontwikkeld via uitgebreide samenwerking met belangrijke spelers uit de sector, waaronder onder meer Beijing North Huachuang Microelectronics Equipment Co., HuaHai Qingke Co., Tuojing Semiconductor Equipment en Shengmei Semiconductor Equipment. Deze brede deelname van de industrie garandeert de wetenschappelijke nauwkeurigheid, toepasbaarheid en representativiteit van de standaard in het hele halfgeleiderecosysteem.
Ozondesinfectie Machinetoepassingen gaan verder dan het reinigen van wafels en omvatten ook geavanceerde oxidatieprocessen voor het verwijderen van organische verontreinigingen uit apparatuur en faciliteiten voor de productie van halfgeleiders. De technologie elimineert effectief fotoresistresiduen, sporen van organische oplosmiddelen en moleculaire verontreinigingen in de lucht die de chipopbrengst in gevaar kunnen brengen.
De normalisatie-inspanning, die begon met de goedkeuring van het project in maart 2025 en eindigde met de definitieve release in december 2025, stelt uitgebreide technische specificaties en betrouwbaarheidsbenchmarks vast voor apparatuur voor het genereren van ozon. Dit biedt halfgeleiderfabrikanten duidelijke, kwantificeerbare criteria voor apparatuurselectie en procesvalidatie.
Industrieanalisten voorspellen dat de mondiale markt voor ozongeneratoren tegen 2030 een waarde van 2,36 miljard dollar zal bereiken, met een CAGR van 8,0%, deels gedreven door toenemende investeringen in de productie-infrastructuur van halfgeleiders en de behoefte aan geavanceerde reinigingsoplossingen. De nieuwe Chinese standaard positioneert binnenlandse fabrikanten om effectiever te concurreren op deze groeiende markt en ondersteunt tegelijkertijd het bredere nationale initiatief om de capaciteiten van binnenlandse halfgeleiderapparatuur te versterken.
Vooruitkijkend zal de implementatie van deze standaard naar verwachting de adoptie van in eigen land geproduceerde ozongeneratoren in Chinese halfgeleiderfabrieken versnellen, waardoor de afhankelijkheid van geïmporteerde apparatuur wordt verminderd en tegelijkertijd consistente kwaliteit en prestaties worden gegarandeerd. Terwijl de halfgeleiderindustrie haar snelle expansie voortzet, zal gestandaardiseerde ozontechnologie een steeds crucialere rol spelen bij het mogelijk maken van de precieze, contaminatievrije productieomgevingen die nodig zijn voor de productie van chips van de volgende generatie.
