Industri semikonduktor China telah mencapai pencapaian penting dengan pengeluaran rasmi dan pelaksanaan piawaian kumpulan pertama negara untuk penjana ozon gred semikonduktor. Dikeluarkan pada 9 Disember 2025, "Keperluan Teknikal untuk Penjana Ozon Gred Semikonduktor" (T/CIET 1946-2025) diketuai oleh Qingdao Guolin Semiconductor Technology Co., Ltd. dengan kerjasama 17 perusahaan terkemuka merentas rantaian bekalan semikonduktor .
Piawaian mercu tanda ini mengisi jurang kritikal dalam spesifikasi teknikal domestik untuk peralatan ozon yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor dan paparan panel. Penjana ozon memainkan peranan yang amat diperlukan dalam proses semikonduktor utama termasuk pemendapan filem nipis, pembersihan wafer, dan penyingkiran fotoresist, di mana prestasi teknikal dan kebolehpercayaannya secara langsung memberi kesan kepada hasil fabrikasi cip.
Teknologi Mesin Ozon telah menjadi penting dalam fabrik semikonduktor moden, di mana keperluan kebersihan permukaan telah mencapai ketepatan tahap atom. Ujian makmal terkini menunjukkan bahawa sistem pembersihan ozon UV termaju boleh mengurangkan bahan cemar organik pada wafer silikon daripada 50nm kepada hanya 0.5nm, mencapai peningkatan 100 kali ganda dalam kecekapan pembersihan berbanding kaedah tradisional. Tahap ketepatan ini adalah kritikal apabila industri maju ke arah nod proses 5nm dan 3nm.
Penjana Ozon Perindustrian yang direka untuk aplikasi semikonduktor menggunakan kaedah pelepasan korona atau ultraungu untuk menjana kepekatan ozon yang tepat yang disesuaikan dengan keperluan pembuatan tertentu. Tidak seperti proses pembersihan basah konvensional yang bergantung pada asid sulfurik dan hidrogen peroksida—yang boleh meninggalkan sisa kimia dan menjana air sisa yang ketara—pembersihan berasaskan ozon menawarkan alternatif kering dan bebas sisa yang terurai secara semula jadi menjadi oksigen selepas digunakan .
Piawaian yang baru ditubuhkan itu dibangunkan melalui kerjasama meluas yang melibatkan pemain industri utama termasuk Beijing North Huachuang Microelectronics Equipment Co., HuaHai Qingke Co., Tuojing Semiconductor Equipment dan Shengmei Semiconductor Equipment, antara lain . Penyertaan industri yang luas ini memastikan ketegasan saintifik standard, kebolehgunaan dan keterwakilan merentas ekosistem semikonduktor.
Aplikasi Mesin Pembasmian Kuman Ozon melangkaui pembersihan wafer untuk memasukkan proses pengoksidaan lanjutan untuk membuang bahan cemar organik daripada peralatan dan kemudahan pembuatan semikonduktor. Teknologi ini secara berkesan menghapuskan sisa fotoresist, kesan pelarut organik dan bahan cemar molekul bawaan udara yang boleh menjejaskan hasil cip .
Usaha penyeragaman, yang bermula dengan kelulusan projek pada Mac 2025 dan berakhir dengan keluaran akhir pada Disember 2025, menetapkan spesifikasi teknikal yang komprehensif dan tanda aras kebolehpercayaan untuk peralatan penjanaan ozon . Ini menyediakan pengeluar semikonduktor kriteria yang jelas dan boleh diukur untuk pemilihan peralatan dan pengesahan proses.
Penganalisis industri mengunjurkan bahawa pasaran penjana ozon global akan mencecah $2.36 bilion menjelang 2030, berkembang pada CAGR sebanyak 8.0%, didorong sebahagiannya oleh peningkatan pelaburan dalam infrastruktur pembuatan semikonduktor dan keperluan untuk penyelesaian pembersihan termaju . Piawaian baharu China meletakkan pengeluar domestik bersaing dengan lebih berkesan dalam pasaran yang semakin berkembang ini sambil menyokong inisiatif nasional yang lebih luas untuk mengukuhkan keupayaan peralatan semikonduktor domestik.
Memandang ke hadapan, pelaksanaan piawaian ini dijangka mempercepatkan penggunaan penjana ozon yang dihasilkan dalam negara dalam fabrik semikonduktor China, mengurangkan pergantungan pada peralatan yang diimport sambil memastikan kualiti dan prestasi yang konsisten. Memandangkan industri semikonduktor meneruskan pengembangan pesatnya, teknologi ozon piawai akan memainkan peranan yang semakin penting dalam membolehkan persekitaran pembuatan yang tepat dan bebas pencemaran yang diperlukan untuk pengeluaran cip generasi akan datang.
