Η κινεζική βιομηχανία ημιαγωγών έχει φτάσει σε ένα σημαντικό ορόσημο με την επίσημη κυκλοφορία και εφαρμογή του πρώτου ομαδικού προτύπου της χώρας για γεννήτριες όζοντος ημιαγωγών. Εκδόθηκε στις 9 Δεκεμβρίου 2025, οι "Τεχνικές Απαιτήσεις για Γεννήτριες Όζοντος Βαθμού Ημιαγωγών" (T/CIET 1946-2025) διεξήχθησαν από την Qingdao Guolin Semiconductor Technology Co., Ltd. σε συνεργασία με 17 κορυφαίες επιχειρήσεις σε όλη την αλυσίδα εφοδιασμού ημιαγωγών.
Αυτό το πρότυπο ορόσημο καλύπτει ένα κρίσιμο κενό στις εγχώριες τεχνικές προδιαγραφές για τον εξοπλισμό όζοντος που χρησιμοποιείται στην κατασκευή ημιαγωγών και οθονών πάνελ. Οι γεννήτριες όζοντος διαδραματίζουν απαραίτητο ρόλο σε βασικές διεργασίες ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, του καθαρισμού της γκοφρέτας και της αφαίρεσης φωτοανθεκτικού, όπου η τεχνική τους απόδοση και η αξιοπιστία τους επηρεάζουν άμεσα τις αποδόσεις κατασκευής τσιπ.
Η τεχνολογία του Ozone Machine έχει γίνει απαραίτητη στα σύγχρονα εργοστάσια ημιαγωγών, όπου οι απαιτήσεις καθαριότητας της επιφάνειας έχουν φτάσει σε ατομικό επίπεδο ακρίβειας. Πρόσφατες εργαστηριακές δοκιμές καταδεικνύουν ότι τα προηγμένα συστήματα καθαρισμού με όζον με υπεριώδη ακτινοβολία μπορούν να μειώσουν τους οργανικούς ρύπους στις γκοφρέτες πυριτίου από 50nm σε μόλις 0,5nm, επιτυγχάνοντας 100πλάσια βελτίωση στην αποτελεσματικότητα καθαρισμού σε σύγκριση με τις παραδοσιακές μεθόδους. Αυτό το επίπεδο ακρίβειας είναι κρίσιμο καθώς η βιομηχανία προχωρά προς τους κόμβους διεργασίας 5nm και 3nm.
Οι βιομηχανικές γεννήτριες όζοντος που έχουν σχεδιαστεί για εφαρμογές ημιαγωγών χρησιμοποιούν μεθόδους εκκένωσης κορώνας ή υπεριώδους ακτινοβολίας για τη δημιουργία ακριβών συγκεντρώσεων όζοντος προσαρμοσμένες στις συγκεκριμένες απαιτήσεις κατασκευής. Σε αντίθεση με τις συμβατικές διεργασίες υγρού καθαρισμού που βασίζονται στο θειικό οξύ και το υπεροξείδιο του υδρογόνου - το οποίο μπορεί να αφήσει χημικά υπολείμματα και να δημιουργήσει σημαντικά λύματα - ο καθαρισμός με βάση το όζον προσφέρει μια στεγνή εναλλακτική λύση χωρίς υπολείμματα που αποσυντίθεται φυσικά σε οξυγόνο μετά τη χρήση.
Το νεοσύστατο πρότυπο αναπτύχθηκε μέσω εκτεταμένης συνεργασίας που περιλαμβάνει βασικούς παράγοντες του κλάδου, συμπεριλαμβανομένων των Beijing North Huachuang Microelectronics Equipment Co., HuaHai Qingke Co., Tuojing Semiconductor Equipment και Shengmei Semiconductor Equipment, μεταξύ άλλων. Αυτή η ευρεία συμμετοχή του κλάδου διασφαλίζει την επιστημονική αυστηρότητα, τη δυνατότητα εφαρμογής και την αντιπροσωπευτικότητα του προτύπου σε όλο το οικοσύστημα ημιαγωγών.
Οι εφαρμογές του μηχανήματος απολύμανσης με όζον εκτείνονται πέρα από τον καθαρισμό γκοφρέτας και περιλαμβάνουν προηγμένες διαδικασίες οξείδωσης για την αφαίρεση οργανικών ρύπων από εξοπλισμό και εγκαταστάσεις παραγωγής ημιαγωγών. Η τεχνολογία εξαλείφει αποτελεσματικά τα υπολείμματα φωτοανθεκτικών, τα ίχνη οργανικών διαλυτών και τους αιωρούμενους μοριακούς ρύπους που μπορούν να θέσουν σε κίνδυνο την απόδοση των τσιπ.
Η προσπάθεια τυποποίησης, η οποία ξεκίνησε με την έγκριση του έργου τον Μάρτιο του 2025 και ολοκληρώθηκε με την τελική κυκλοφορία τον Δεκέμβριο του 2025, καθορίζει ολοκληρωμένες τεχνικές προδιαγραφές και σημεία αναφοράς αξιοπιστίας για τον εξοπλισμό παραγωγής όζοντος. Αυτό παρέχει στους κατασκευαστές ημιαγωγών σαφή, μετρήσιμα κριτήρια για την επιλογή εξοπλισμού και την επικύρωση της διαδικασίας.
Οι αναλυτές του κλάδου προβλέπουν ότι η παγκόσμια αγορά γεννητριών όζοντος θα φτάσει τα 2,36 δισεκατομμύρια δολάρια έως το 2030, αυξάνοντας με CAGR 8,0%, εν μέρει λόγω της αύξησης των επενδύσεων σε υποδομές κατασκευής ημιαγωγών και της ανάγκης για προηγμένες λύσεις καθαρισμού. Το νέο κινεζικό πρότυπο τοποθετεί τους εγχώριους κατασκευαστές να ανταγωνίζονται πιο αποτελεσματικά σε αυτήν την επεκτεινόμενη αγορά, υποστηρίζοντας παράλληλα την ευρύτερη εθνική πρωτοβουλία για την ενίσχυση των ικανοτήτων οικιακού εξοπλισμού ημιαγωγών.
Όσον αφορά το μέλλον, η εφαρμογή αυτού του προτύπου αναμένεται να επιταχύνει την υιοθέτηση εγχώριων παραγωγών γεννητριών όζοντος στις κινεζικές βιομηχανίες ημιαγωγών, μειώνοντας την εξάρτηση από εισαγόμενο εξοπλισμό, διασφαλίζοντας ταυτόχρονα σταθερή ποιότητα και απόδοση. Καθώς η βιομηχανία ημιαγωγών συνεχίζει την ταχεία επέκτασή της, η τυποποιημένη τεχνολογία του όζοντος θα διαδραματίσει ολοένα και πιο ζωτικό ρόλο στη δημιουργία των ακριβών, απαλλαγμένων από μολύνσεις περιβάλλοντα παραγωγής που απαιτούνται για την παραγωγή τσιπ επόμενης γενιάς.
