وصلت صناعة أشباه الموصلات الصينية إلى مرحلة هامة مع الإصدار الرسمي وتنفيذ أول معيار جماعي على الإطلاق في البلاد لمولدات الأوزون من فئة أشباه الموصلات. تم إصدار "المتطلبات الفنية لمولدات الأوزون من فئة أشباه الموصلات" (T/CIET 1946-2025) في 9 ديسمبر 2025، بقيادة شركة Qingdao Guolin Semiconductor Technology Co., Ltd. بالتعاون مع 17 شركة رائدة عبر سلسلة توريد أشباه الموصلات.
يسد هذا المعيار التاريخي فجوة حرجة في المواصفات الفنية المحلية لمعدات الأوزون المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات وشاشات العرض. تلعب مولدات الأوزون دورًا لا غنى عنه في عمليات أشباه الموصلات الرئيسية بما في ذلك ترسيب الأغشية الرقيقة، وتنظيف الرقائق، وإزالة مقاوم الضوء، حيث يؤثر أدائها الفني وموثوقيتها بشكل مباشر على إنتاجية تصنيع الرقائق .
أصبحت تكنولوجيا آلة الأوزون ضرورية في مصانع أشباه الموصلات الحديثة، حيث وصلت متطلبات نظافة السطح إلى مستوى الدقة الذرية. توضح الاختبارات المعملية الحديثة أن أنظمة تنظيف الأوزون بالأشعة فوق البنفسجية المتقدمة يمكنها تقليل الملوثات العضوية على رقائق السيليكون من 50 نانومتر إلى 0.5 نانومتر فقط، مما يحقق تحسنًا بمقدار 100 ضعف في كفاءة التنظيف مقارنة بالطرق التقليدية. يعد هذا المستوى من الدقة أمرًا بالغ الأهمية مع تقدم الصناعة نحو عقد المعالجة بدقة 5 نانومتر و3 نانومتر.
تستخدم مولدات الأوزون الصناعية المصممة لتطبيقات أشباه الموصلات طرق تفريغ الإكليل أو الأشعة فوق البنفسجية لتوليد تركيزات دقيقة للأوزون مصممة خصيصًا لمتطلبات التصنيع المحددة. على عكس عمليات التنظيف الرطب التقليدية التي تعتمد على حمض الكبريتيك وبيروكسيد الهيدروجين - والتي يمكن أن تترك بقايا كيميائية وتولد كميات كبيرة من مياه الصرف الصحي - يوفر التنظيف المعتمد على الأوزون بديلاً جافًا وخاليًا من البقايا ويتحلل بشكل طبيعي إلى أكسجين بعد الاستخدام.
تم تطوير المعيار الذي تم إنشاؤه حديثًا من خلال التعاون المكثف الذي ضم لاعبين رئيسيين في الصناعة بما في ذلك شركة Beijing North Huachuang Microelectronics Equipment Co.، وشركة HuaHai Qingke، وTuojing Semiconductor Equipment، وShengmei Semiconductor Equipment، وغيرها. وتضمن هذه المشاركة الواسعة في الصناعة الدقة العلمية للمعيار وإمكانية تطبيقه وتمثيله عبر النظام البيئي لأشباه الموصلات.
تمتد تطبيقات آلة تطهير الأوزون إلى ما هو أبعد من تنظيف الرقائق لتشمل عمليات الأكسدة المتقدمة لإزالة الملوثات العضوية من معدات ومرافق تصنيع أشباه الموصلات. تعمل هذه التقنية بشكل فعال على إزالة بقايا مقاوم الضوء وآثار المذيبات العضوية والملوثات الجزيئية المحمولة جواً والتي يمكن أن تؤثر على إنتاجية الرقائق.
تضع جهود التقييس، التي بدأت بالموافقة على المشروع في مارس 2025 وانتهت بالإصدار النهائي في ديسمبر 2025، مواصفات فنية شاملة ومعايير موثوقية لمعدات توليد الأوزون. وهذا يوفر لمصنعي أشباه الموصلات معايير واضحة وقابلة للقياس لاختيار المعدات والتحقق من صحة العملية.
يتوقع محللو الصناعة أن يصل سوق مولدات الأوزون العالمية إلى 2.36 مليار دولار بحلول عام 2030، بمعدل نمو سنوي مركب قدره 8.0٪، مدفوعًا جزئيًا بزيادة الاستثمارات في البنية التحتية لتصنيع أشباه الموصلات والحاجة إلى حلول تنظيف متقدمة. ويتيح المعيار الصيني الجديد للمصنعين المحليين التنافس بشكل أكثر فعالية في هذا السوق المتوسع مع دعم المبادرة الوطنية الأوسع لتعزيز قدرات معدات أشباه الموصلات المحلية.
وبالنظر إلى المستقبل، من المتوقع أن يؤدي تنفيذ هذا المعيار إلى تسريع اعتماد مولدات الأوزون المنتجة محليا في مصانع أشباه الموصلات الصينية، مما يقلل الاعتماد على المعدات المستوردة مع ضمان الجودة والأداء المتسقين. ومع استمرار صناعة أشباه الموصلات في توسعها السريع، ستلعب تكنولوجيا الأوزون الموحدة دورًا حيويًا متزايدًا في تمكين بيئات التصنيع الدقيقة والخالية من التلوث المطلوبة لإنتاج شرائح الجيل التالي.
